别人欠你超过10万元且拖着不还，你可以通过以下步骤来维护自己的合法权益：

    收集证据

   证据是主张债权的关键，你需要收集能证明债权债务关系存在的证据，主要包括：

    借条或借款合同 ：这是最直接证明借贷关系的证据，上面通常会明确借款金额、借款时间、还款时间、利息等重要信息。如果有，一定要妥善保存原件。

    转账记录 ：如果借款是通过银行转账、微信、支付宝等电子支付方式进行的，要打印出完整的转账记录，上面应显示转账时间、金额、双方账户信息等。

    聊天记录或通话录音 ：如果在借款过程中有与对方的聊天记录（如微信、短信）或者通话录音，能够证明对方承认借款事实、借款金额等内容，也可以作为证据。聊天记录要保证完整性，不能断章取义。

    证人证言 ：如果借款时有其他人在场，他们的证人证言也可以作为辅助证据。

    沟通协商

   在采取法律手段之前，你可以先尝试与对方进行沟通协商。可以通过面对面交谈、电话沟通、发送书面催款函等方式，明确告知对方借款已到期，要求其尽快还款，并保留好沟通的记录。

    书面催款函 ：可以以信件、电子邮件等形式发送，在催款函中要写明借款的事实、金额、还款期限以及要求对方还款的时间等内容，并注明如果对方不按时还款将采取法律措施。

    申请支付令（可选）

   如果你们之间的债权债务关系明确、合法，且对方承认借款事实但只是拖延还款，你可以向法院申请支付令。申请支付令的程序相对简单、快捷，费用也较低。

    申请流程 ：你需要向有管辖权的基层人民法院提交申请书，申请书应当写明请求给付金钱或者有价证券的数量和所根据的事实、证据。法院受理后，会对申请进行审查，符合条件的，会在15日内向对方发出支付令。

    对方反应及处理 ：如果对方在收到支付令之日起15日内清偿债务，或者向法院提出书面异议。如果对方提出书面异议，法院会对异议进行审查，一旦异议成立，支付令就会失效，你需要通过起诉的方式来解决纠纷。

    提起诉讼

   如果沟通协商和申请支付令都无法解决问题，你可以向法院提起诉讼。

    确定管辖法院 ：一般是被告住所地或者合同履行地的法院。如果借款合同中对管辖法院有约定，按照约定执行。

    准备诉讼材料 ：包括起诉状、证据材料等。起诉状要写明原告和被告的基本信息、诉讼请求、事实和理由等内容。证据材料要按照上述收集的证据进行整理，并制作证据清单。

    立案 ：将诉讼材料提交给法院立案庭，法院会对材料进行审查，符合立案条件的，会予以立案，并通知你缴纳诉讼费用。

    审理和判决 ：法院立案后，会安排开庭审理。在庭审过程中，你需要出示证据，进行举证、质证和辩论。法院会根据双方的证据和陈述，依法作出判决。

    执行 ：如果对方在判决生效后仍不履行还款义务，你可以在规定的时间内向法院申请强制执行。法院会采取查询、冻结、划拨对方的银行存款，查封、扣押、拍卖对方的财产等措施，以实现你的债权。

   整个过程中，如果你对法律程序不熟悉，建议你咨询专业律师，以获得更准确的法律建议和帮助。