偷拍未成年少女是违法的，并会面临相应的法律处理。以下是对此问题的详细解答：

一、偷拍行为的违法性

1. 侵犯隐私权：偷拍行为侵犯了他人的隐私权，这是民法所保护的基本权利之一。未成年少女作为公民，其隐私权同样受到法律的保护。
2. 违反治安管理：根据《中华人民共和国治安管理处罚法》第四十二条第六项规定，偷窥、偷拍、窃听、散布他人隐私的，处五日以下拘留或者五百元以下罚款；情节较重的，处五日以上十日以下拘留，可以并处五百元以下罚款。

二、法律处理措施

1. 治安管理处罚：对于偷拍未成年少女的行为，公安机关将根据《中华人民共和国治安管理处罚法》的相关规定，对行为人进行治安管理处罚，包括拘留和罚款。
2. 刑事责任追究：如果偷拍行为伴随着其他严重情节，如传播淫秽物品、强制猥亵侮辱等，则可能构成刑事犯罪。根据《中华人民共和国刑法》的相关规定，行为人将面临更严厉的刑事处罚，包括有期徒刑、拘役或管制等。

三、特殊保护与从重处罚

1. 对未成年人的特殊保护：法律对未成年人给予了特殊的保护。偷拍未成年少女不仅侵犯了其隐私权，还可能对其身心健康造成严重影响。因此，法律对这类行为持严厉打击的态度。
2. 从重处罚情节：如果偷拍行为涉及向不满十八周岁的未成年人传播淫秽物品等从重处罚情节，法律将依法对行为人从重处罚。